µXRF, l'équipement pour l’analyse de la composition des matériaux et la mesure d'épaisseur couche mince

La spectroscopie par fluorescence X est une méthode permettant de déterminer la composition de matériaux, mesurer l’épaisseur de couches et réaliser l’analyse élémentaire d’échantillons principalement inorganiques pour une grande variété d'applications.

La fluorescence X est une technique non-destructive d'analyse utilisée pour identifier les éléments présents dans des échantillons solides, liquides ou en poudre et en déterminer les concentrations. Notre système XRF est capable de mesurer des éléments à partir du sodium (Na) à l'uranium (U) à des concentrations variant de quelques ppm (50-300 ppm suivant l'élément) et jusqu'à 100%.


Le spectromètre XRF mesure les longueurs d'onde individuelles des composants dans l'émission fluorescente produite par l’échantillon lorsqu'il est irradié par des rayons X. La détection du spectre est réalisée par un cristal Si-Li refroidi par azote liquide avec une résolution énergétique inférieure à 150 eV.

Par cette méthode, des échantillons peuvent être analysés dans des domaines aussi divers que l’électronique, la géologique, les minéraux, la métallurgie, la verrerie, etc.… Très souvent, il est nécessaire d'examiner des objets hétérogènes, caractériser de petites particules de pollution, des inclusions ou détecter la présence /absence de matières « interdites » telles que le plomb, cadmium,… Dans ces configurations, notre équipement qui permet de générer un faisceau d'excitation avec un diamètre  de spot inférieur à 25µm est très performant.

 

Les échantillons à  analyser peuvent être des liquides, solides ou encore des poudres.

 

Cet outil offre la possibilité d’analyser aussi bien de petits éléments comme des monocristaux, mais aussi de détecter des hétérogénéités dans  des échantillons plus importants avec un niveau de détection de traces pouvant descendre au ppb. L’analyse peut se faire en un seul point de mesure ou sur une distribution matricielle des points d’analyse (cartographie spectrale).

Les domaines d’applications sont très vastes. Ce matériel est de plus en plus fréquemment utilisé dans l’industrie à des fins de contrôle qualité mais aussi en R&D.